| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|
| Design elements of microsystems technology | Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 493670 | | |
| Mikrotechnische Konstruktion / Konstruktion in der Mikrotechnik | Fach-/Modulprüfung | 6 | 488385 | | |
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Vorlesung/Übung | | 484954 | Do 10:30-14:00 t.b.d. (×15) | |
| Konstruktionselemente der Mikrosystemtechnik | Vorlesung/Übung | | 484954 | Do 10:30-14:00 t.b.d. (×15) | |
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 493672 | | |
| Konstruktion von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 492736 | | |
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 491975 | | |
| Ultra-Precision Technology II | Ultrapräzisionstechnik II | Fach-/Modulprüfung | 6 | 491983 | | |
| Ultrapräzisionstechnik II | Vorlesung | | 484370 | Di 16:30-18:00 t.b.d. (×15) | |
| Ultrapräzisionstechnik II | Übung | | 484946 | Di 14:30-16:00 t.b.d. (×15) | |